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EDI超純水設備的進水水質指標控制手段

2015-08-24 13:23:04

  EDI進水的水質要求如表所示,可以保證其出水指標達到電子行業半導體制造需要的高純水的要求。

  系統進水水質指標控制手段

  (1)進水電導率的控制。嚴格控制前處理過程中的電導率,使EDI進水電導率小于40μS/cm,可以保證出水電導率合格以及弱電解質的去除。

  (2)工作電壓-電流的控制。系統工作時應選擇適當的工作電壓-電流。同時由于EDI凈水設備的電壓-電流曲線上存在一個極限電壓-電流點的位置,與進水水質、膜及樹脂的性能和膜對結構等因素有關。為使一定量的水電離產生足夠量H+和OH-離子來再生一定量的離子交換樹脂,選定的EDI凈水設備的電壓-電流工作點必須大于極限電壓-電流點。

 

超純水設備

超純水設備

  (3)進水CO2的控制?稍赗O前加堿調節pH,最大限度地去除CO2,也可用脫氣塔和脫氣膜去除CO2。

  (4)進水硬度的控制?山Y合除CO2,對RO進水進行軟化、加堿。進水含鹽量高時,可結合除鹽增加一級RO或納濾。

  (5)TOC的控制。結合其他指標要求,增加一級RO來滿足要求。

  (6)濁度、污染指數的控制。濁度、污染指數是RO系統進水控制的主要指標之一,合格的RO出水一般都能滿足EDI的進水要求。

  (7)Fe的控制。運行中控制EDI進水的Fe低于0.01mg/L。如果樹脂已經發生了“中毒”,可以用酸溶液作復蘇處理,效果比較好。

 

超純水設備圖片

超純水設備

  EDI的經濟技術特點

  EDI技術的最大特點是用電場和離子膜取代離子交換樹脂的化學再生,使RO+EDI純水系統在設備結構、使用操作、運行費用等方面與RO+混床相比具有明顯優勢。并克服了再生樹脂所產生的廢水排放問題。

  (1)EDI系統不需使用酸堿溶液對樹脂進行再生,避免了再生造成的廢水污染。同時,EDI排放的濃水可直接回到RO之前再利用,這樣EDI單元可以做到沒有廢水排放,沒有二次污染。

  (2)EDI不用酸堿再生樹脂,使純水系統設備結構簡化,投資節省,操作簡化,運行費用降低。

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